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周博和姜明尚站在无尘车间的观察窗前,注视一块高纯度硅锭被送入切割台上。
硅片厂生产线还没有投产,眼前的硅锭是从沪江运送过来,用于试生产的,
随着巨大的金刚石切割刀缓缓落下,硅锭被切成一片片薄如蝉翼的晶圆。
这些晶圆将被送往下一个车间,进行打磨和抛光。
接下来就是光刻工序,也是整个制造过程中最核心的环节。
姜明尚皱眉道:“前几道工序都没问题,但光刻车间的良品率始终上不去。
我研究了几天,始终没找到问题所在。”
周博笑道:“万事开头难,GK-1是第一台光刻机,有问题很正常,没问题才奇怪。”
两人一边说着,一边来到光刻车间。
车间中央横置着一台庞然大物——GK-1干式光刻机,几名技术人员正围在操作台前。
“怎么回事,又是图案粘连!”一名技术人员苦恼道。
“会不会是光刻胶有问题?”
“不应该,都是一样的调配流程,在沪江好用,到了粤州就出问题?
没道理呀!”
“是呀,真特么见鬼了!”
“原来的流水线不是挺好吗,一做成整机就出问题,自找麻烦!”有人抱怨道。
“整机在沪江测试过,也没问题呀!”
“到底怎么回事呢?”
众人议论纷纷,看到周博和姜明尚走过来,立刻向二人打招呼。
“周总工,姜总工!”
都是电子厂的老人,还是习惯用以前的称呼。
姜明尚问道:“怎么样,这次良品率多少?”
“10片芯片,只有1片能用,其他全部出现图案粘连现象!”
10%!
这良品率实在有点可怜。
周博也皱起眉头。
光刻机在沪江时测试过的,怎么到了粤州就水土不服?
“给我看看!”
一名技术员将一块刚下线的芯片递了过来。
周博来到显微镜前,将芯片放在物境前固定好,看了起来。
镜头中,本该清晰的晶体管线条像被水晕开的墨迹,模糊成团。
这就是所谓图案粘连。
看完之后,周博没有说话,走到了光刻机的操作台前。
暗暗在脑海中发出指令。
“分析GK-1光刻机···”
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