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第九五六章 研发极紫外光（第2页）

gca光刻机半导体研究院的研究重心应该放在技术领先的ar准分子激光器和kr光刻胶研制上。

gca与ib同是seatech会员，赢者通吃，避免重复研究，不担心ib卡b子，ib垄断kr光刻胶十几年，但不知道什么原因？前世是信越化学等日本公司在光刻胶上一枝独秀，还卡了韩国人的脖子！

“孙董事长，只要能保障光源研究所的研发经费，我保证光源研究所三年内研制成功极紫外光。”

“汤普森院长，光源研究所需要多少研发经费？”

汤普森院长不是年轻人，敢打包票，就说明有绝对的把握，重生者不怕花钱！一旦攻克了euv，能否生产euv光刻机？gca都会成为光刻机行业的领导者！

“董事长，我需要三千万元美元的研发经费，购买新的实验机器和材料。”

艾德里安和布罗迪等众人喜忧参半，公司如今的现金流只剩下三百多万美元，要花钱的地方多的是。

“汤普森院长，我现在就答应你，要是光源研究所在三年内研究成功极紫外光技术，我承诺奖励光刻机光源研究所研发团队五百万美元，其中一百万美元奖励汤普森院长。”

这个时代的三千万美元相当于二十年后的三十亿美元，可以收购40asl的股权，不是一笔小数目！

即使花了三千万美元，三年内没有研发成功，孙健相信gca的光刻机光源技术和制程工艺也会突飞勐进。

众人一脸的惊讶。

“多谢董事长！”

汤普森也是一愣。

先入为主，重生者二手准备，当然希望汤普森院长率领gca光刻机光源研究所，率先研制成功euv，重新成为光刻机霸主后，gca收购cyr和aec，强强联合，就是收购svg和ultratech，成为美国唯一的光刻机公司，与nikon和竞争，美国政府也会支持。

前世虽然nikon凭借技术实力和资金实力先后研制成功2准分子激光器和浸没式光刻技术，生产成功浸没式光刻机，但半导体产业更新换代迅速，导致nikon光刻机的可靠性能始终落后于asl，从此，全球高端光刻机龙头nikon逐渐败给了全球光刻机新霸主asl。

前世由于asl独有的euv光源无人能够研制，国内光刻机光源生产公司的技术没有竞争力，以美国为首的西方国家并没有限制ar准分子激光器和ari准分子激光器的出口。

bsec可以直接进口市场价45五万美元一台的gca牌ar准分子激光器，购买蔡司公司生产的光学系统，进口6英寸晶圆，加上独创的光刻机磁悬浮式双工作台系统，就能生产1u制程工艺的光刻机，虽然6英寸晶圆、1u制程工艺的半导体生产线是西方国家淘汰的生产线，但在国内还大有市场。

bsec就可以活下来！

理想很美好，但现实很骨感，bsec就是能制造1u制程工艺的光刻机，不代表能生产6英寸晶圆、1u制程工艺的半导体生产线！

国内缺乏半导体生产线设备的全产业链，如今都压在了bsec的肩上。

bsec生产的1u制程工艺的光刻机也没有晶圆公司会用！

谁投资谁倒霉，这就是“造不如买、买不如租”的主要原因！

好在193n波长的世界性光学难题将困惑光刻机行业八年，给了bsec成长的机会，不然重生者也无能为力。

bsec的突破点就是赶在asl之前率先研制成功世界上第一台193n波长的浸没式光刻机！

孙健所有的运作就是围绕这个突破点！

euv光刻机太过复杂，即使投入巨资研发成功euv光源，但对相关的光学系统、光刻胶、掩膜版等设备和材料的要求太过苛刻，需要十万个零件，据说前世有五千多家生产商为euv光刻机供货，重生者还不敢付诸实践。

“孙董事长，bsec能否不转让磁悬浮式双工作台系统专利给nikon？”

拥有了bsec的磁悬浮式双工作台系统专利的终身授权，gca光刻机光学精密设备研究所升级改造，只要研制成功适应800n制程工艺的磁悬浮式双工作台系统不能出售和转让专利技术，gca光刻机的制程工艺就有可能达到500n，达到nikon光刻机的制程工艺，购买休斯电子材料公司aec生产的8英寸晶圆，还能提高35左右的产能。

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