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ASML拥有全球第二款双工作台系统,技术实力仅次于GCA和Nikon,一旦研发成功134nm波长的浸没式光刻机,技术实力就会超过Nikon。
虽然浸入式光刻机的构思非常巧妙,但同EUC光刻机相比,从工程角度看,并不难完成,
邓国辉和钱富强都担心ASML赶在BSEC的前面发布研发成功浸没式光刻机,但一想到孙董事长旗下公司是ASML的第二大股东,就放下心来。
5月28日,GCAEUV光刻机公司对外公开宣布,经过二年多的潜心研发,EUV光刻机的核心部件EUV激光器研制成功,并通过专家组的鉴定,并申请了国际发明专利,并向媒体展示了一台EUV激光器和一台EUV光刻机原型机。
EUV激光器获取EUV光源的办法是将二氧化碳激光照射在锡等靶材上,激发出13.5nm的光子,作为光刻机光源。
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EUV激光器和EUV光刻机原型机在全球引起极大的轰动,阻碍全球半导体产业发展的技术瓶颈被美国科学家攻克。
GCA同时宣布,GCAEUV光刻机的量产还需要很长的时间。
得到消息的魏建国、邓国辉和钱富强都知道BSEC公开推出浸没式光刻机不远了。
工程院院士候选人不受理个人申请,需要通过院士或有关学术团体提名,也可以同时通过以上两种渠道提名。
钱富强研究员在全球顶尖光刻机期刊上发表了30多篇专业论文,在全球光刻机光源行业具有极高的威望,主持研发成功的浸没式光刻机是全球首创,国际领先技术,具有百亿美元的市场价值。
京城半导体集团拥有4名光刻机专业顶尖的院士。
邓国辉院士担任光刻机协会会长,还担任国家光刻机专家组主任委员,欧阳明院士、陈伟长院士和夏季常院士担任国家光刻机专家组副主任委员,钱富强研究员担任光刻机协会秘书长。
浸没式光刻机经过专家组鉴定只是走程序。
“邓总,马上组织光刻机专家组成员鉴定,鉴定通过后,申请公司发明专利。”
“好的,董事长!”
魏建国知道浸没式光刻机的来龙去脉,一直保守秘密。
BSEC从1999年8月开始立项,投资1亿元,邓国辉和钱富强带领光刻机光源研究所,静下心来开始研发EUV,虽然快4年过去,前后花费3.6亿元,还没有研发成功EUV,但光源研究所的科研成果丰硕,申请了165项公司发明专利(其中4项核心发明专利),研发成功具有自主知识产权的浸没式光刻机所需的光学系统,并生产了3台浸没式光刻机试验机,只等孙董事长一声令下,BSEC随时可以量产。
(本章完)
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